潔淨室中的溫濕度控制

　　潔淨空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但無塵室工程在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔淨度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

　　具體工藝對溫度的要求以後還要列舉，但作為總的原則看，由於加工精度越來越精細，所以對溫度波動範圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恆溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以後，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

　　濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高，粘附的難去掉，但當相對濕度低於30%時，又由於靜電力的作用使粒子也容易吸附於表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對於硅片生產最佳溫度範圍為35—45%。

　　電子廠潔淨室中電氣耐高溫濾網及自控施工要點

　　電子廠潔淨室的施工要點可以簡單概括為暖通專業、裝修專業、電氣及自控以及各工序之間的配合。在施工中，大家關注最多的是暖通和裝修，電氣及自動化沒有得到應有的重視，今天簡單跟大家分享一下電子廠潔淨室中電氣及自控施工要點。

　　電子廠潔淨室的電氣設施和自控設備也是施工過程中的一個重要環節。電氣設施是電子廠潔淨室的核心，它的正常工作是電子產品有序生產的保證。在電氣設施的安裝過程中要考慮電子秤潔淨室電子線路的總功率和線路結構，進行合理的選擇和安裝；同時自控設備也要具體考慮電子秤潔淨室情況，合理PAO測試選用和安裝。另外，要注意自控設備的合理性和無塵室環境確效檢測及時性，注意節能。

無塵室空調　　淨化空調系統是電子秤潔淨室中的重要電器設施，是控制室內溫濕度、氣流風速和壓力梯度的關鍵系統，系統中的過濾器更是承擔著除塵的重要任務。因此在淨化空調系統的施工中，一定要注意各個設備的質量，保證整個系統工作的有效性。施工完成後，還應對其工作效果進行測試，保證滿足電子廠潔淨室的標准。