石英舟清洗

　　1、石英舟使用久了卡槽處易污染，擴散後 片子可能會形成石英舟卡槽印，嚴重的導致片子 方阻異常、外觀異常；所以需定期和不定 期進行清洗。 2、清洗後石英舟吹干，放入爐管進行飽和 後才可以使用。

　　清洗方法

　　清洗機內槽 HF槽 石英舟清洗使用專用七星設備清洗機，HF槽中配3—5%的HF；HF陶瓷槽有量 標，體積以淹沒放入的石英舟為宜，不要超過400L，每台清洗機一般最 多可以放入8對石英舟；浸泡時間不低於4小時，可以適當延長，清水 中浸泡不低於1小時，可以適當延長。 七星設備清洗機 注意：使用耐酸堿手套和防護面具；石英舟易碎，過程中輕拿輕放。

　　清洗和吹干

　　清洗機外槽 水槽

　　清洗後吹干

　　HF浸泡後將石英舟取出放入清洗機外槽 水槽中，用純水清洗後拿到桌面上進 行吹干；為防止石英舟表面水被吹到各處，可以在下面墊些無塵紙用於吸水。 注意石英：使用清洗機作業需做好自我保護，過程中輕拿輕放，防止損壞石英舟。

　　石英舟飽和

　　確保吹干效果，吹干後放入碳化硅槳上，調用飽和 程序進行飽和；根據時間情石英管況，最好使用大飽和。

　　清洗效果

　　清洗前 清洗飽和後 經過清洗飽和後，石英舟卡槽中的黑色物質基本上全部清除

　　清洗周期

　　• 1、正常生產時每個班可以清洗飽和2對石 英舟，標准：一是挑外觀明顯有黑漬的先 洗，二是擴散後片子有卡槽印，其對應石 英舟立即清洗； • 2、在產能很松的情況下，可以酌情增加清 洗數量，保障正常使用石英舟均外觀干淨 ，擴散後片子無卡槽印。